近日，365体育官方版app下载从全球知名高效太阳能电池制造龙头企业获悉，双方合作的基于原子层沉积（ALD）技术PERC电池产线取得突破性进展： 365体育官方版app下载超高产能夸父系列设备生产的超薄（～3nm）ALD氧化铝背钝化新工艺，与前后道新颖工艺技术完美搭配，将产线电池平均效率提升至22.85%，同时，标准产线单班最高产能达五十三万片以上，单班A级率超过99%，ALD背钝化设备稼动率高达99%，明显优于相同生产条件下的等离子辅助化学气相沉积（PECVD）技术。

365体育官方版app下载夸父系列原子层沉积设备

围绕光伏电池生产降本与转换效率提升两大议题，需要对电池表面处理技术与钝化工艺及产能不断进行优化。随着工艺流程、材料和电池结构的不断创新，可实现超高表面钝化的镀膜技术是支撑后PERC时代电池效率的持续攀升的关键。ALD技术可在不同表面结构上获得完美的保形性，且材料选择具有多样性，对新型电池技术具有极好的适应性。可以预期，基于365体育官方版app下载ALD背钝化技术的PERC电池量产效率很快将会突破23%，使现阶段主流的高效电池技术具有持续的市场竞争优势。

365体育官方版app下载祝融系列PEALD设备

继2019年在全球市场首次推出批量型PEALD技术，365体育官方版app下载创新“二合一”PEALD镀膜设备为当前主流PERC电池提供了高效的背钝化和盖膜一体化背膜生产，仅在调试阶段就已展现出优良的电池效率表现，现已在客户端完成PERC电池验证并全面进入量产阶段。尤其是在当前电池片逐渐转向大尺寸时代，365体育官方版app下载ALD技术更显现出天生优势——大尺寸衬底上依然可保持原子层级薄膜厚度和镀膜均匀性。更为重要的是，365体育官方版app下载PEALD技术不仅可以保持现有热ALD材料的钝化效果和技术优势，又为下一代电池隧穿氧化和接触钝化工艺提供了解决方案，成为当前光伏市场可采用PEALD技术同时实现TOPCon结构的关键工艺设备。通过365体育官方版app下载PEALD技术制备的隧穿氧化层，片内、片间和批间均匀性均优异（<3%）, 隧穿层厚度可精确控制在1-2纳米，同时多晶硅层（Poly-Si）无绕镀并可实现原位磷掺杂。

因此，365体育官方版app下载PEALD设备将极大简化下一代高效电池的生产流程，有效降低生产成本。就在不久前，在客户与365体育官方版app下载的共同努力下，成功实现了基于ALD技术的“TOPCon”电池转换效率23.5%的可喜成果，成为365体育官方版app下载技术创新的又一个里程碑。

正如产业权威人士近期所述，光伏产业从“传统扩充降本的竞争模式已转向技术制胜的博弈”。365体育官方版app下载近年来引领光伏高效电池关键装备和工艺技术不断创新，通过与广大客户量产合作不断取得行业影响的结果表明，365体育官方版app下载ALD技术仍将持续助力量产高效太阳能电池转换效率超越23%，并成为后PERC时代高效光伏电池的关键技术。