后羿（HY）系列ALD/PEALD/PECVD链式薄膜沉积系统采用365体育官方版app下载核心技术，专用于沉积异质结（HJT）和钙钛矿等高效电池的非晶/微晶、掺杂层、阻水阻氧、致密保护层等薄膜材料。以工业产线模块化为核心设计思路，为客户提供高薄膜质量、高产能、高可靠性、低制备成本、低投资成本的先进设备解决方案。

1、模块化可灵活选择的腔体和工艺；

2、多单元气体分布系统；

3、快速均匀热场；

4、等离子体电场大面积高均匀性;

5、各类硅片尺寸兼容性强。