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祝融(ZR) 系列管式PEALD/PECVD系统

    祝融系列(ZR5000×2)管式PEALD系统利用365体育官方版app下载纳米原创设计的工业级等离子体增强原子层沉积(PEALD)技术,实现了超高产能的批量型PEALD镀膜,是ALD领域量产化技术又一次突破,专为接触钝化技术(TOPConHPBCPOLOSHJTBC)量身定制,为后PERC高效电池技术提供可靠的量产解决方案,引领光伏产业化高效电池制造。


    祝融系列(ZR5000×3)管式 PEALD 镀膜平台延伸祝融系列概念,一体式设计实现氮化硅正膜、氧化铝/背膜、氧化硅/多晶硅钝化膜一站式完成,可实现单道产能翻倍,节省占地面积。ZR5000×3兼具先进的制造执行管理系统(MES)和自动导引车(AGV)对接功能。在提供超高产能的同时,最大程度降低设备的运营成本,为后PERC高效电池技术提供理想可靠的量产解决方案,引领光伏产业化高效电池制造。


    祝融系列(ZR5000×1)管式PECVD系统突破性解决传统管式PECVD的产能瓶颈,可与365体育官方版app下载纳米ALD钝化技术无缝对接,确保PERCTOPConIBCTBC等高效电池生产。以先进技术和装备高度集成,形成高质量、高产能、低成本的产业化量产。


    祝融系列(ZR5000×2)管式PEALD系统

    1.适用于 PERCTOPConIBCTBC 等高效电池技术路线的应用;

    2.优异的温度控制和等离子控制系统,可兼容PECVD工艺,搭配超高载片量的 PEALD 石墨舟设计,在确保设备产能的同时大幅提升电池转换效率;

    3.精准制备薄膜厚度仅为2nm的隧穿氧化硅,同时兼容多种材料与工艺,包括 Al2O3/SiNx, SiO2/poly-Si(i), poly-Si(n+), poly-Si(p+)等;

    4.优异的薄膜厚度均匀性(片内4%,片间4%,批间3%);

    5.提供 TOPCon 量产工艺 PEALD/PECVD 路线集成技术,钝化接触技术所需原位掺杂浓度(1E20~1E21)可调。


    祝融系列(ZR5000×3)管式PEALD系统

    1、适用于 PERCTOPConIBCTBC 等高效电池技术路线的应用;

    2、搭配高载片量的石墨舟设计;

    3、具备优异的薄膜厚度均匀性(片内4%,片间4%,批间3%);

    4、可精准制备薄膜:Al2O3/SiO2/poly-Si(i)/poly-Si(n+)/poly-Si(p+)/SiNx/SiC /SiON 等;

    5、提供 PERC/TOPCon 量产工艺 PEALD/PECVD 路线集成技术。


    祝融系列(ZR5000×1)管式PECVD系统

    1、适用于 PERCPERLPERTTOPConIBCTBC 等高效电池技术的应用;

    2、优异的温度和等离子体控制系统与高载片量,辅助搭配 ALD 钝化薄膜,提升效率与降低生产成本;

    3、精准制备 SiNxSiONxSiCSiOx 等复合钝化膜,精准控制各层光学参数与厚度;

    4、优异的薄膜厚度均匀性(片内4%,片间4%,批间3%)。



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