iTomic MIS团簇系统基于365体育官方版app下载纳米Trancendor平台的各类应用场景，结合制程路线和不同工艺节奏需求，创新采用了单片、多片优化整合的系统，为客户产能最大化提供最佳工艺解决方案。iTomic MIS团簇系统可以实现真空环境下一站式叠层工艺需求，尤其适合MIM capacitor、stacked film等应用，优化和精简表面预处理,免去对PVD等其他工艺环节和制程设备的需求。

1、挂载1-4个工艺模块，满足复杂工艺流程、多元工艺和掺杂工艺需求；

2、实现真空环境下一站式叠层工艺需求，匹配MIM Capacitor、Stacked Film 应用。

3、Trancendor平台可自由配置挂载iTomic HiK和iTomic MW批量反应腔和缓存腔，匹配客户产线流程和产能要求，灵活调整晶圆处理节奏，实现产能最大化。